微納器件在半導(dǎo)體、生物科學(xué)等領(lǐng)域中的迅速發(fā)展促進(jìn)了人們對(duì)微納結(jié)構(gòu)的不斷探索和改進(jìn)。測(cè)量作為衡量器件性能的重要手段，對(duì)微納結(jié)構(gòu)的三維形貌檢測(cè)也變得日趨重要。 

　　光電所科研人員提出一種基于白光顯微干涉術(shù)的形貌恢復(fù)算法：利用二維傅立葉變換獲取單幀干涉圖像頻域信息，提取基頻頻譜作逆傅里葉變換，最后獲取條紋的時(shí)域調(diào)制度信息。通過(guò)壓電陶瓷縱向高精度掃描，獲取每個(gè)像素點(diǎn)的調(diào)制度分布，進(jìn)而利用極值點(diǎn)得到單個(gè)像素點(diǎn)的高度信息，從而實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的三維形貌重建。該方法優(yōu)勢(shì)在于能有效消除光源光強(qiáng)不穩(wěn)定、外界環(huán)境干擾等不利因素帶來(lái)的誤差，較大程度上提升檢測(cè)精度和系統(tǒng)穩(wěn)定性，未來(lái)有望應(yīng)用于在線檢測(cè)。 

　　該項(xiàng)目得到國(guó)家科學(xué)自然基金和光電所研究生創(chuàng)新基金支持。 

　　單個(gè)像素點(diǎn)時(shí)域調(diào)制度分布曲線和三維形貌重建結(jié)果